Zastosowanie teorii oszczędnego próbkowania w mikroskopii skaningowej umożliwia zmniejszenie liczby koniecznych do wykonania pomiarów w porównaniu do pełnego skanu powierzchni próbki. Tego rodzaju oszczędny pomiar może wiązać się ze skróceniem czasu wykonywania pomiarów i ze zmniejszeniem kontaktu sondy z próbką, natomiast powoduje zwiększenie nakładu obliczeń komputerowych. Przedmiotem niniejszej pracy było sprawdzenie czy wykorzystanie teorii oszczędnego próbkowania pozwoli na otrzymanie obrazów o podobnej rozdzielczości jaką daje wykonanie pełnego skanu. W tym celu wykorzystano wybrane metody rekonstrukcji obrazu. Porównano jak na jakość otrzymanych w ten sposób obrazów wpływa wybór różnych ścieżek skanowania oraz rodzaj rekonstruowanego obrazu.